超高真空可調式插板閥 電動 不銹鋼

一、超高真空可調式插板閥概述

此閥門為帶步進電機的控制插板閥，在結構設計上合理，外形上美觀，使用可靠、壽命長等優(yōu)點，能廣泛應用于需要調節(jié)閥門的開啟度來控制流量的超高真空設備中。
閥門分別以步進電機傳動力矩為動力，通過傳動桿推（拉）動連桿機構，帶著驅動體沿軸向運動，驅動體通過擺桿或鋼珠與閥板連接，完成閥板開啟及關閉動作。

閥門作為一個節(jié)流元件動作，驅動由驅動器，步進電機和控制器來完成，其中控制器提供一個位置控制模式，它允許控制閥以選定速度在開和關的任意位置，而電源控制也可手動調節(jié)，電源控制時，為脈沖信號控制，速度快，定位準。閥門的介質為空氣及非腐蝕性氣體。

二、超高真空可調式插板閥特點

軸封為波紋管密封，其它密封件為氟橡膠，無潤滑劑設計；
閥體采用不銹鋼內部焊接，漏率?。?br/>閥體采用加強筋結構，體積小、重量輕，外形美觀；
采用雙導軌軸承滾輪機構，運動平穩(wěn)；閥板整體式結構，支撐力均勻；
步進電機驅動，閥門的閥板開啟位置任意可調，可用于調節(jié)流量。

三、超高真空可調式插板閥參數(shù)

類型： 插（閘）板閥
驅動方式： 電動
法蘭形式： CF LF ISO-F GB-LP
閥體材料： 不銹鋼
適用真空： 超高真空

適用范圍：1×10-6Pa～1.2×105Pa（蓋板氟膠圈密封）
打開時插板上的壓差：≤3×103Pa任意方向
閥體和閥座漏率： <1.3×10-7Pa·L·s-1
保養(yǎng)循環(huán)次數(shù)：10，000次
閥體烘烤溫度：打開時≤200℃；關閉時≤150℃
安裝位置：任意
電源：交流220V 50Hz或直流50V以下，電流最大為5.5A
閥門開啟或關閉時間：可調
閥門位置指示：全關、全閉位置指示開關（微動開關），其它位置通過脈沖來控制