水環(huán)真空泵案例
汽車半導體2BE水環(huán)真空泵系統(tǒng)解決方案
產品描述:
深圳務明系統(tǒng)水環(huán)真空泵系統(tǒng)可解決半導體行業(yè)的工藝特性,水環(huán)真空系統(tǒng)無油、設備穩(wěn)定性可靠性較高,康斯頓(CNST)真空泵系統(tǒng)的應用,整體提升了電氣功率半導體工藝平臺及生產制造能力。新能源汽車半導體行業(yè)的真空工藝應用有哪些?
1、半導體行業(yè)中的蒸發(fā)、濺射、PECVD、真空干法刻蝕、真空吸附、測試設備、機械手搬運吸附、自動化真空清掃等鍵合工序里均會用到真空。半導體行業(yè)對應的不同的真空要求如中高真空、清掃真空(粗真空)、工藝真空(粗真空)。部分還有要求真空泵向被抽空間內的返流為零,以保護工件免受污染。
2、工藝真空主要利用負壓吸附進行工件搬運或夾持,清掃真空主要利用負壓與大氣壓差進行液體或顆粒的清除或輸送,此類應用中水環(huán)真空泵和多級離心風機是非常關鍵的生產輔助設備。
半導體真空系統(tǒng)應用要求及案例:
1.應用要求——半導體行業(yè)的工藝特性,要求系統(tǒng)絕對無油,對設備的穩(wěn)定性和可靠性要求也比較高。
2.應用案例——湖南某電氣公司擁有一流的功率半導體生產線,形成從設計、制造、封裝與測試等全套能力,電氣汽車組件配套建設項目,選用了2套康斯頓2BE水環(huán)真空系統(tǒng),(水環(huán)真空泵安全可靠,100%無油,完全滿足半導體行業(yè)的工藝真空要求),目前設備安裝調試完畢,機組運行穩(wěn)定。
該項目全部產能將用于新能源汽車用基材及組件生產,康斯頓(CNST)真空泵系統(tǒng)的應用,整體提升了電氣功率半導體工藝平臺及生產制造能力,真空泵系統(tǒng)/真空泵工藝可滿足新能源汽車領域巨大市場需求,進一步做大做強做優(yōu)功率半導體產業(yè)。
隨著高鐵技術自主化進程,尤其芯片和半導體的國產化,深圳市務明系統(tǒng)集成有限公司專注于真空泵系統(tǒng)方案、真空系統(tǒng)配套設備等服務,為客戶提供創(chuàng)新的真空泵產品和售后維保等一站式服務。
深圳市務明系統(tǒng)集成有限公司專注于真空泵領域,是深圳真空泵生產廠家之一,務明擁有技術團隊研發(fā)生產真空泵產品,所研發(fā)的真空泵(水環(huán)真空泵、羅茨真空泵、旋片真空泵、螺桿真空泵)、真空系統(tǒng)、真空機組等產品廣泛應用于食品、制藥、醫(yī)療、化工、家居、電子電池、水環(huán)境等行業(yè),并為客戶量身定制行業(yè)應用解決方案,務明系統(tǒng)集成公司是深圳集成監(jiān)控系統(tǒng)公司行業(yè)的之一。