干式螺桿真空泵半導(dǎo)體應(yīng)用優(yōu)勢

2021螺桿真空泵火了，據(jù)了解半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用較為廣泛，而干式螺桿真空泵的出現(xiàn)替代了大部分油螺桿真空泵，跟隨深圳市務(wù)明系統(tǒng)集成有限公司、深圳真空泵生產(chǎn)廠家來看看，干式真空泵應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的優(yōu)勢。

干式真空泵、干式螺桿真空泵應(yīng)用于半導(dǎo)體優(yōu)勢如下：

1.消除了工藝過程中油污染或油搭載進入尾氣處理系統(tǒng)的風(fēng)險
2.不會產(chǎn)生廢物、或者污染寶貴的溶劑、產(chǎn)品或環(huán)境
3.完全干燥，對上下游工藝沒有任何污染
4.干式螺桿真空泵無任何腐蝕風(fēng)險
5.吸入的溶劑或其他有用成分可以在泵的出口直接回收
6.干式真空泵工作效率更高、耗電更少

綜合上述，干式螺桿真空泵特點明顯，半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中所需具備抽除腐蝕性氣體、粉塵顆粒、有毒氣體等，干式螺桿真空泵均可解決，因此被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)。

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