干式真空泵出現(xiàn)得很早，但沒有明確的定義。更換油封機(jī)械泵通常在10-2 Pa大氣壓的壓力范圍內(nèi)工作。油和液體不能用于泵氣通道(如泵室)，排氣口可以與大氣相通。能夠持續(xù)向大氣中排放空氣的泵稱為干式真空泵(也稱為無油真空泵)。
市場上有許多類型的干式泵。根據(jù)其基本原則，只有兩種類型，即：
(1)容積式干式真空泵，如多級羅茨泵、爪式泵、往復(fù)活塞泵、螺桿泵、渦旋泵等。干式泵的極限壓力一般為0.1-10pa，泵速為0.01-0.04m3/s
(2)具有動量傳遞的無油真空泵，如渦輪式無油泵。排氣側(cè)與大氣相通，在連續(xù)流動狀態(tài)下壓縮比高。它是一個原油泵，可以從大氣壓力泵送到1022pa。其結(jié)構(gòu)采用徑向和周向流量泵的復(fù)合結(jié)構(gòu)，并采用多級串聯(lián)泵送。渦輪泵的極限壓力約為10-2 Pa，泵速為0.02-0.15 m3/s，牽引干式泵也是動量轉(zhuǎn)移干式泵。
與油封機(jī)械泵相比，干式泵達(dá)到相同的極限壓力，殘余氣體成分完全不同。分析結(jié)果表明，油封泵的殘余氣體CNHM氣體(烴類氣體)是主要成分，而干式泵的殘余氣體是空氣成分。這證實在干式泵的泵送過程中沒有油污染。
一些干式泵在結(jié)構(gòu)設(shè)計中仍然使用潤滑油，如泵的傳動齒輪和軸承，以及合成油，如PFPE油和其他油等。已經(jīng)采取了一些措施來防止油蒸汽出現(xiàn)在泵室內(nèi)。嚴(yán)格來說，它不是沒有油泵。然而，經(jīng)過分析，這種合成油的成分在泵的入口處。它非常小，沒有效果。
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