旋片真空泵是一種油封式機(jī)械真空泵，旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子，旋片、端蓋、彈簧等組成。
旋片泵有兩種類型：?jiǎn)渭?jí)和雙級(jí)。所謂雙級(jí)是指兩個(gè)單級(jí)泵在結(jié)構(gòu)上串聯(lián)。通常分為兩個(gè)階段以獲得更高的真空度。一個(gè)轉(zhuǎn)子偏心安裝在旋片泵的腔內(nèi)，轉(zhuǎn)子的外圓與泵腔的內(nèi)表面相切(兩者之間有一個(gè)小間隙)，兩個(gè)帶彈簧的旋片安裝在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)。
其工作壓力范圍為101325 ~ 1.33。 10-2屬于低真空泵。它可以單獨(dú)使用，也可以作為其他高真空泵或超高真空泵的前置泵。旋片泵可以泵出密封容器中的干燥氣體，如果安裝了氣鎮(zhèn)裝置，還可以泵出一定量的可冷凝氣體。然而，它不適合泵出含有太多氧氣、對(duì)金屬有腐蝕性、與泵油發(fā)生化學(xué)反應(yīng)以及含有微?；覊m的氣體。旋片泵是真空技術(shù)中最基本的真空采集設(shè)備之一。旋片泵大多是中小型泵。
由轉(zhuǎn)子，泵腔和兩個(gè)端蓋圍成的月牙形空間分為三部分：A、B和C。當(dāng)轉(zhuǎn)子沿箭頭方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，與吸入口連通的空間A的容積逐漸增大，并處于吸入過程中。與排氣口連通的空間C的體積逐漸減小并處于排氣過程中。中央空間B的體積也逐漸減小并處于壓縮過程中。由于空間A的體積逐漸增加(即，膨脹)，氣體壓力降低，并且泵入口外部的氣體壓力大于空間A中的壓力，因此氣體被吸入。當(dāng)空間A與吸入口隔離時(shí)，即它轉(zhuǎn)到空間B的位置時(shí)，氣體開始被壓縮，體積逐漸減小，最后它與排出口連通。當(dāng)壓縮氣體超過排氣壓力時(shí)，排氣門被壓縮氣體推開，氣體穿過油箱中的油層并排放到大氣中。泵的連續(xù)運(yùn)行達(dá)到了連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體通過空氣通道轉(zhuǎn)移到另一級(jí)(低真空級(jí))，則在排放到大氣中之前，它被低真空級(jí)抽出并被低真空級(jí)壓縮，從而形成兩級(jí)泵。此時(shí)，總壓縮比由兩個(gè)階段承擔(dān)，從而增加最終真空度。
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