真空泵：真空泵為一種抽氣裝置，可將真空系統(tǒng)中的氣體抽出，使返回真空系統(tǒng)中的氣體數(shù)量比抽出真空系統(tǒng)中的氣體數(shù)量少。
一、真空泵的分類，真空泵參數(shù)要求對照
根據(jù)真空泵工作原理基本上分為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種類型，真空泵的分類和圖2不同真空泵的真空度所示。
氣體輸送泵分為：
變?nèi)菡婵毡茫罕们蝗莘e的周期性變化來完成抽氣。
動量傳輸泵：依靠高速葉片、射流，將動量傳遞給氣體，完成抽氣。
氣體輸送泵主要包括：
1、液環(huán)真空泵;2、往復(fù)式真空泵;3、油封機械泵;4、羅茨真空泵;5、干式真空泵等。
氣體捕集泵主要包括：
1、低溫泵;2、離子濺射泵;3、分子篩吸附泵;4、鈦升華泵;5、電離升華泵;6、鋯鋁合金吸氣泵等。
真空泵的類型按真空泵用途可分為如下8部分：
(1)主泵(Main pump)：在真空系統(tǒng)中，用來獲得所要求真空度的真空泵;
(2)粗抽泵(Roughing vacuum pump)：從大氣壓開始降低系統(tǒng)的壓力到另一抽氣系統(tǒng)開始工作的真空泵;
(3)前級泵(Backing vacuum pump)：用來維持另外一個泵的前級壓力在其臨界前級壓力以下的真空泵;
(4)維持泵(Holding vacuum pump)：在真空系統(tǒng)中，當(dāng)氣體量很小，不能有效的利用主前級泵。此時，可以利用容量較小的輔助前級泵來維持主泵工作或維持容器所需真空度;
(5)粗/低真空泵(Rough/Low vacuum pump)：從大氣壓力開始并用來獲得低真空度的真空泵;
(6)高真空泵(High vacuum pump)：在高真空范圍工作的真空泵;
(7)超高真空泵(Ultrahigh vacuum pump)：在超高真空范圍工作的真空泵;
(8)增壓真空泵(Booster vacuum pump)：安裝在低真空和高真空泵之間，用來提高系統(tǒng)工作效率或降低前級泵容量要求的真空泵。
二、真空泵性能參量，真空泵參數(shù)要求對照
1、抽氣速率(Flow rate)：在真空泵的進(jìn)氣口每單位時間抽入泵的氣體的體積;
2、極限壓力(Ultimate pressure)：在標(biāo)準(zhǔn)測試條件下，不引入氣體正常工作條件下，趨向穩(wěn)定的最低壓力。
3、啟動壓力(Stating pressure)：泵無損壞啟動并且有抽氣作用的壓力。
4、前級壓力(Backing pressure)：排氣壓力低于一個大氣壓，真空泵的出口壓力。
5、最大前級壓力(Maximum backing pressure)：能使泵損壞的前級壓力。
6、最大工作壓力(Maximum working pressure)：對應(yīng)最大抽氣量的入口壓力。
7、抽氣量(Throughout of vacuum pump)：流經(jīng)泵入口的氣體流量。
8、壓縮比(Compression ratio)：泵出口壓力和入口壓力之比。
