進(jìn)口真空泵，凡是利用機(jī)械運(yùn)動(dòng)(轉(zhuǎn)動(dòng)或滑動(dòng))以獲得真空的泵，稱為機(jī)械真空泵。
(1)按真空泵的工作原理分類
?、俪槌剑婵毡贸槲到y(tǒng)中的氣體，并將氣體分子排至系統(tǒng)之外。
?、诓都健Ｕ婵毡貌都到y(tǒng)中的氣體分子，直接吸附在泵工作壁面上而不排出系統(tǒng)。
(2)按真空泵結(jié)構(gòu)分類
?、贆C(jī)械式。這類真空泵類似于壓縮機(jī)，屬于容積型的有往復(fù)式與回轉(zhuǎn)式結(jié)構(gòu)，還有屬于動(dòng)力式的渦輪分子泵，它們都屬于抽除式真空泵。
?、趪娚浔?。有噴射泵與擴(kuò)散泵兩種形式，還有將二者組合在一起的增壓泵，也都屬于抽除式真空泵。
③吸著式。依靠物理或化學(xué)方法使氣體分子吸著在泵壁表面，屬于捕集式真空泵。
(3)按真空泵在系統(tǒng)中的工作職能分類
?、僦鞒闅獗?。實(shí)現(xiàn)所要求壓力的主要工作泵。
?、陬A(yù)抽氣泵。當(dāng)主抽氣泵不能在大氣狀態(tài)直接開(kāi)始抽吸時(shí)，需要預(yù)抽泵先抽至某一壓力，主抽氣泵方能進(jìn)入工作。
?、矍凹?jí)泵。當(dāng)主抽氣泵不能將所抽氣體直接排入大氣時(shí)，需串接前級(jí)泵排送。
?、芫S持泵。當(dāng)主抽氣泵完成所要求的壓力停止工作后，由于系統(tǒng)泄漏或表面蒸發(fā)等原因，壓力可能升高，因此用維持泵繼續(xù)抽吸。
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