真空系統(tǒng)應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)還是比較多的。接下來介紹真空系統(tǒng)的內(nèi)容。
真空系統(tǒng)簡介
通過真空系統(tǒng)的設(shè)計，在單個生產(chǎn)機器上，更多的單個泵被幾個更大的真空泵代替。自動變頻控制系統(tǒng)通過儲氣罐的主支管配置并連接到生產(chǎn)機器上。真空供應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)要求全自動，節(jié)能、低成本、維護方便、性能穩(wěn)定。員工工作區(qū)域的噪音水平大大降低，以滿足半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)要求。
1.生產(chǎn)用真空主要是通過高真空減少工作空間的空氣，保持工作空間的清潔。所用真空泵的主要類型包括干式泵(干式螺旋真空泵、爪式泵)、分子泵及其裝置。生產(chǎn)用真空設(shè)備數(shù)量多，功率小。
2.清潔真空主要利用負(fù)壓和大氣壓之間的差異來清潔或輸送液體或顆粒。對于這些應(yīng)用，主要使用水環(huán)泵和多級離心風(fēng)扇。由于真空度低，通常采用多級離心風(fēng)機，真空源是其系統(tǒng)的一部分。
3.工藝真空主要采用工件搬運負(fù)壓吸附或夾緊。螺桿泵、爪式泵、水環(huán)泵、旋轉(zhuǎn)葉片泵和微油螺桿泵等干式泵都是過程真空中常見的真空設(shè)備。
半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用安全事項：
1、防止真空泵溫度過高：
真空泵溫度過高會影響真空度和排氣量，對生產(chǎn)有直接影響。在半導(dǎo)體在真空泵的應(yīng)用中，有害氣體比較多，而無論是干式真空泵還是油封機械泵，泵腔內(nèi)溫度過高，高溫下易燃易爆及有毒氣體就會容易發(fā)生危險。
2、半導(dǎo)體真空泵有效稀釋有害氣體的濃度：
半導(dǎo)體易產(chǎn)生前面所說的易燃易爆、有毒的有害氣體。所以半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時就必須防止它們在真空泵內(nèi)或者排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。
比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì)，在與空氣或氧接觸的時候，會引起燃燒甚至爆炸;氫氣在空氣中的混合比例達到一定程度與溫度時也會發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導(dǎo)體真空泵在抽取這些介質(zhì)時，需要用氮氣之類的惰性氣體，在壓縮前即將這些氣體稀釋到當(dāng)時條件下的安全范圍。
3、真空泵注意氧氣的濃度：
空氣中的氧如果濃度過高也會發(fā)生燃燒及爆炸風(fēng)險。所以一些情況下需注意氧的濃度，采用惰性氣體來稀釋，防止?jié)舛冗^高;假設(shè)是油封機械泵可能還需要采用一些惰性的與氧相容的真空泵油，并及時更換油濾和油品。
4、定期清洗真空泵及其他附件、過濾、管道，避免超壓：
半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時，抽取介質(zhì)過程中經(jīng)過反應(yīng)室與真空泵，其成分可能極為復(fù)雜，如SiH4與O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解會形成HCl;假設(shè)是油封式機械泵，這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設(shè)形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì)，就可能堵塞真空泵或管路系統(tǒng)，影響真空泵性能，造成壓力上升或超壓，一點中提到的危險性也更大。所以需要及時的清洗，并在必要的時候設(shè)置過濾設(shè)備。
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