螺桿真空泵是20世紀(jì)90年代初出現(xiàn)的理想泵。由于其泵速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、泵腔內(nèi)無(wú)摩擦元件、能耗低、無(wú)廢液排放、運(yùn)行成本低，已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、化工、制藥、石化、空間模擬、低壓風(fēng)洞等領(lǐng)域。
目前，各種真空泵的發(fā)展越來(lái)越受到真空應(yīng)用的影響，傳統(tǒng)的真空泵系統(tǒng)已經(jīng)不能滿足清潔、無(wú)油、耐腐蝕、可冷凝的抽汽和惡劣工況下運(yùn)行的要求。因此，近年來(lái)，干式真空泵發(fā)展迅速，并且通過(guò)真空獲得的產(chǎn)品已經(jīng)更新。
螺桿真空泵的特征
螺桿真空泵：的工作原理一對(duì)同步齒輪帶動(dòng)螺桿反向旋轉(zhuǎn)，螺桿與泵室之間有一定的間隙，沒(méi)有任何金屬對(duì)金屬的接觸。因此，當(dāng)螺桿旋轉(zhuǎn)時(shí)，泵送的氣體從空氣入口被吸入，并被排放到空氣出口。
早期的螺桿真空泵具有相同的螺距。為了降低能耗和泵腔內(nèi)的溫度，后來(lái)開(kāi)發(fā)了變螺距螺桿真空泵。其中一個(gè)螺絲是由兩個(gè)不同螺距的螺絲拼接而成，另一個(gè)是螺距不斷變化的螺絲桿真空泵，螺絲是由一種整體材料制成的。
螺桿真空泵的特征如下
變螺距結(jié)構(gòu)，比等螺距螺桿節(jié)能30%，排氣溫度更低;
泵送氣體在泵腔中的距離很短，并且被快速排出;
泵送的氣體很少在泵室內(nèi)攪拌;
小顆粒不易積聚;
它能夾帶液體、可冷凝物和微小顆粒;
低振動(dòng)和噪音;
泵腔中的殘留物很容易清除。
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