干式真空泵在一個(gè)特殊的行業(yè)中應(yīng)用廣泛，為了配合行業(yè)的使用，方便用戶的選擇，廠家分為多種，主要有以下形式。
雙圓裂片式真空泵
雙圓裂片式真空泵的修訂與目前最流行、應(yīng)用最廣泛的羅茨泵很相似。 實(shí)際上，一些最初的干泵設(shè)置修正思想是把羅茨泵重疊起來(lái)。 這樣的多級(jí)修訂使瓦斯氣體通路變得相當(dāng)復(fù)雜，各級(jí)需要大的流量氮瓦斯氣體發(fā)揮稀釋和隔離的作用。 此外，為了達(dá)到良好的真空度，對(duì)各級(jí)的間隙要求非常嚴(yán)格。 當(dāng)然，該設(shè)置修訂會(huì)增加內(nèi)部壓縮比，因此電功耗相對(duì)較低。
三葉圓裂片式真空泵
三葉裂片式真空泵設(shè)置修訂和雙圓裂片式設(shè)置修訂的原理完全相同，只是在一周的時(shí)間里把瓦斯氣體分成三個(gè)，而不是像雙圓裂片式那樣分成兩個(gè)。 這兩種設(shè)計(jì)有相同的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。 為了進(jìn)一步降低電功耗，根據(jù)傳動(dòng)部的制造商選擇了2個(gè)直流馬達(dá)，但這也會(huì)導(dǎo)致扭矩的減少，重啟的能力下降。 與雙圓裂片式設(shè)定訂正同樣，三葉圓裂片式設(shè)定訂正的各段為了發(fā)揮稀釋和隔離的作用，需要較大的流量氮瓦斯氣體。
組合式(羅茨+爪)真空泵
組合式(羅茨+爪)的設(shè)定改正是羅茨提高低壓下的抽氣效率，爪提高高壓下的抽氣效率。 其基本原理和瓦斯氣體通道與先前介紹的圓裂片式設(shè)置修訂完全相同。 有些廠家將其最終段改為星形設(shè)置訂正，一轉(zhuǎn)即可將氣體分為五個(gè)，如三圓裂片式設(shè)置訂正可分為三個(gè)。 類似地，在許多處理中，在組合設(shè)置修訂的每級(jí)中，大流量氮瓦斯氣體需要用作稀釋和隔離。
外部壓縮型螺桿式真空泵
在外部壓縮型螺桿式設(shè)定修訂中，使用一對(duì)等間距螺桿。 由此，將內(nèi)部壓縮抑制在最小限度，并且使瓦斯氣體定通路最短也變得最簡(jiǎn)單。 由此，氣體在泵內(nèi)的停留時(shí)間也變得最短。 該設(shè)定糾正減少了內(nèi)部的壓縮比，相對(duì)提高了電功耗，但在許多復(fù)雜的半導(dǎo)體工藝中呈現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。 這種單段設(shè)定修正對(duì)氮瓦斯氣體的使用量的要求也非常小、簡(jiǎn)單，因此在不同的工藝中的兼容性良好。 在很多清洗過(guò)程中不需要使用氮瓦斯氣體。
內(nèi)部壓縮型螺桿式真空泵
除了使用一對(duì)不等間隔螺桿之外，內(nèi)部壓縮型螺桿式設(shè)定修正和外部壓縮型螺桿式設(shè)定修正的基本原理非常相似。 螺桿間容積減少，內(nèi)部產(chǎn)生壓縮。 該設(shè)定修正通過(guò)發(fā)生內(nèi)部壓縮而降低至相當(dāng)于多級(jí)泵的等級(jí)。 但是，在很多過(guò)程中，這種內(nèi)部壓縮與多級(jí)泵一樣，容易引起泵體內(nèi)的氣體物理化學(xué)變化，引起硬化和液化。
由于干式真空泵類型便于行業(yè)選擇，因此不同媒體的選擇形式不同，客戶可以根據(jù)具體情況進(jìn)行選擇。
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