螺桿真空泵是容積式真空泵的新成員，出現(xiàn)于20世紀90年代前后，發(fā)展緩慢。
但是，作為理想的干式泵，出現(xiàn)了螺桿真空泵，并得到了迅速的發(fā)展?，F(xiàn)在就理解小編和基本知識吧.
一、螺桿真空泵的特點
螺桿真空泵起源于螺桿壓縮機和螺桿式液體輸送泵，是容積式真空泵中理想的干式真空泵。由于能夠清潔無油真空環(huán)境，對含有腐蝕性氣體、凝結性蒸汽、粉塵粒子的氣體有較強的適應性，清潔電子半導體、制藥、石油化學等真空環(huán)境的要求嚴格，在氣體成分復雜行業(yè)中，螺桿真空泵很受歡迎
螺桿真空泵通過一對非對稱螺桿轉子的相對運動，使齒間容積周期性變化來輸送氣體，實現(xiàn)抽出。這些特征包括：
1.清潔無油，多相混輸，適應性廣。螺桿真空泵轉子之間有嚴格的間隙，泵室內無油，可吸入腐蝕性氣體、有毒及粉塵、凝結性蒸汽等復雜氣體。
2、結構簡單，動平衡好，可靠性高。螺桿真空泵零件少，芯零件無易損件，無不平衡慣性力，運行可靠，壽命長。
3、結構簡單，零件少，操作、維護簡單。
4.通過強制輸送空氣，可以在寬的壓力范圍內確保大的吸引速度，排氣量幾乎不受排氣壓力的影響。
二、螺桿真空泵的結構
螺桿真空泵一般為雙軸結構。螺桿真空泵是經(jīng)由一對非對稱螺桿轉子在泵室同步高速反轉，使齒間容積周期性變化而產(chǎn)生進氣和排氣作用的排氣設備。
其主要結構為螺桿轉子、軸承、泵體、密封件等。螺桿轉子經(jīng)過精密的動平衡補償由軸承支承，安裝在泵室，螺桿與螺桿之間保持嚴格的一定間隙。泵工作時，相互沒有摩擦，工作順利，噪音低，室內不需要潤滑油。因此，螺桿真空泵在能夠吸引含有大量水蒸氣和粉塵的氣體時，具有極限真空高、低耗電、節(jié)能、免維護等優(yōu)點。
三、螺桿真空泵的應用
螺桿泵不僅適應性寬，而且能夠在嚴格的條件下進行排氣，并且能夠實現(xiàn)高真空度(0.1~1Pa)。因此，隨著半導體、石油化學行業(yè)的迅速發(fā)展，螺桿真空泵作為理想的干泵開始廣泛應用于電子半導體、醫(yī)藥化學工業(yè)領域如半導體行業(yè)的蒸鍍、蝕刻、醫(yī)藥化學工業(yè)行業(yè)的蒸餾干燥、中間
由于型線技術和加工成本，螺桿真空泵的購買費用比較高，但從長遠來看，其寬度適應、高效節(jié)能環(huán)保特性和低故障修理率，在運行周期內給企業(yè)帶來了較高的綜合利益和社會環(huán)境利益，使用更多的通用性是未來的趨勢。
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